- 보유장비
Probe Station
프로브스테이션
- 담당자 메모
- ※ 도입 예정 장비로, 장비사 및 모델은 변경될 수 있습니다.
※ 사용 문의는 담당자에게 연락해주시기 바랍니다.
- 홈페이지를 통해 장비 사용 신청
- 담당자 적정성 검토
- 오프라인 분석 지원
담당자 문의
장비 예약 불가
장비 소개
FormFactor의 SUMMIT200-SA-M 프로브스테이션은 반도체 웨이퍼와 개별 소자의 전기적 특성 평가를 위한 반자동 장비로,
정밀 위치 제어와 안정적인 측정 환경을 제공하며 5G/6G, mmWave, THz 연구개발에 최적화되어 있습니다.
자동화된 측정 기능과 다양한 온도 조건 지원으로 디바이스 특성화와 신뢰성 평가까지 수행할 수 있습니다.
[주요 기능]
| 웨이퍼 핸들링 및 스테이지 제어 | - X-Y-Z 및 Theta 방향 정밀 이동 지원 - 최대 200mm(8 inch) 웨이퍼 측정 가능 - XY축 ≤ 2 µm, Z축 ≤ 1 µm, Theta ≤ ±2 µm 정밀도 - < 1 µm 해상도의 Manipulator로 미세 패드 접근 가능 |
| 온도 제어 및 환경 안정성 | - 아이스쉴드 기술 적용: 밀폐 및 개방 환경 모두 지원 - 온도범위: -40°C ~ +300°C, ±2.5 °C 이내 정확도 및 균일도 제공 - 정밀 온도 제어(±0.05 °C )로 소자 특성 변화 안정적 측정 가능 |
| 신호 무결성 및 전기 특성 평가 | - EMI 차폐 및 초저노이즈 환경 제공 - 미세 전류·전압 특성 측정 지원 - 2포트 RF 모듈로 최대 110 GHz 고주파 특성 검증 가능 |
| 광학 및 영상 지원 | - 고해상도 20 MP 현미경 탑재 - 자동 얼라인 기능으로 칩 정렬 및 미세 패드 접근 지원 |
| 보정 및 검증 기능 | - W-band(110 GHz) 보정용 Substrate 제공 - 전용 측정 및 보정 소프트웨어 지원 |
[주요 사양]
| 스테이지 (Stage) | - X-Y 축: 203 × 203 mm (최대 200mm 웨이퍼 대응) - Z 축: 이동 두께 35 mm 이상 - Theta 축: ±7.5° |
| 정렬 및 매니퓰레이터 | - 자동 정렬: 반복 패턴 기반 웨이퍼 맵 생성 - 다이 정렬: 개별 다이(X, Y, θ) 정렬 지원 (트레이·블루 테이프 적용 가능) - 매니퓰레이터: 수동식, RF 타입, Bolt-down 장착 - 해상도 < 1 μm, 이동 범위(X, Y, Z) 각 12 mm - VNA 인터커넥트 지원: 2포트, 최대 110 GHz, 케이블 ~100 mm |
| 프로브 팁 (Probe Tip) | - 주파수: 최대 110 GHz - 타입: GSG, 150μm Pitch - 최소 패드 크기: 25 × 35 μm - 삽입 손실: 0.7 dB @40 GHz - Tip Height Compliance: 1 μm - 최대 DC 전류: 0.5 A, 최대 전압: 200 V |
| 온도 제어 (Thermal Control) | -온도 범위: -40°C ~ +300°C - 균일도: ≤ ±0.5 °C @25°C, ≤ ±0.85 °C @200°C, ≤ ±1.5 °C @300°C - 전환 시간: -40→25°C (10 min), 25→300°C (30 min), 25→-40°C (30 min) |
| Chuck & 전기적 성능 | - 웨이퍼 크기: 최대 200 mm (8 inch) 대응 - 타입: Triaxial Thermal Chuck (Ni) - 저 노이즈 측정 환경 구성 |
| 광학 시스템 (Microscope) | - 해상도: 20M 픽셀, 프레임 속도 20 fps - 대물렌즈: x10 배율 (Working distance 약 33.5 mm) |
장비 신청 절차
| ①기업→센터 | ▶ | ②센터 | ▶ | ③기업 |
| 회원가입 및 계측장비 사용신청 |
견적서 발송 | 견적서 확인 및 사업자등록증 전달 |
| ▶ | ④센터 | ▶ | ⑤기업↔센터 | ▶ | ⑥센터 | ▶ | ⑦기업 |
| 담당자 승인 | 장비 사용 | 청구서 발송 | 장비 사용료 납부 |
※선 사용, 후 납부 원칙이며, 장비사용료에 대한 문의는 담당자를 통해 문의해 주세요.
※장비 사용 전, 담당자에게 사전 문의해주시기 바랍니다.
※분석 일정 변경·취소는 사용 예정 시각 24시간 전까지 가능합니다.
